国家/地区 中国(32) 美国(2)
IPC部 C(14) G(11) B(10)
H(9) F(2)
IPC大类 G01(9) C01(8) H01(7)
B01(4) C02(3) B81(2)
B82(2) H05(2)
IPC小类 C01B(8) G01L(5) H01L(5)
C02F(3) G01N(3) B01D(2)
B01J(2) B81C(2) B82Y(2)
H05K(2)
IPC C01B032/184(5) C01B032/194(3) G01L001/18(3)
B01D067/00(2) B01J020/28(2) B81C001/00(2)
B82Y040/00(2) C02F001/28(2) G01N023/04(2)
G01N023/2005(2) H01L029/06(2) H05K003/10(2)
发明人 CHEN Y(12) FENG X(12) XIAO J(5)
LIU N(4) WANG H(4) MA Y(3)
ZHANG J(3) CHENG H(2) FAN S(2)
LI J(2) MENG Y(2) PENG H(2)
QU L(2) WANG Y(2) XU G(2)
公开年 2020(32)
申请年 2019(20)  2020(12) 
专利权人 UNIV TSINGHUA(32)